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      4常見問(wèn)題
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      除靜電有什么中和方法?


        我們常說(shuō)除靜電,防靜電但是可能大家一直沒有搞明白。除靜電它到底用有幾種方法,在我們想要除靜電時(shí),先要了解靜電產(chǎn)生原理,然后選擇正確的除靜電方法,之后在去選擇相對(duì)應(yīng)的除靜電設(shè)備,來(lái)真正做到除靜電。
        (1) 工藝控制法
        旨在使生產(chǎn)過(guò)程中盡量少產(chǎn)生靜電荷.為此應(yīng)從工藝流程、材料選擇、設(shè)備安裝和操作管理等方面采取措施,控制靜電的產(chǎn)生和積聚,抑制靜電電位和靜電放電的能力,使之不超過(guò)危害的程度。
        如在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,當(dāng)高速器件的淺結(jié)形成工序完成后,對(duì)沖洗用的去離子水的電阻率就必須控制。雖然電阻率越高,潔凈效果越好,但電阻率越高。絕緣性越越好,在芯片上產(chǎn)生的靜電就越高。因此一般要控制在略高于8MΩ的水平,而不能是初始工序用的16-17MΩ。還有在材料選擇上,包裝材料要采用防靜電材料,盡量避免未經(jīng)處理的高分子材料。
        (2) 泄漏法
        旨在使靜電通過(guò)泄漏達(dá)到消除的目的。通常采用靜電接地是電荷向大地泄漏;也有采用增大物體電導(dǎo)的方法使接地沿物體表面或通過(guò)內(nèi)部泄漏,如添加靜電劑或增濕。最常見的是工作人員帶的防靜電腕帶,靜電接地柱。
        (3) 靜電屏蔽法 
        根據(jù)靜電屏蔽的原理,可分為內(nèi)場(chǎng)屏蔽和外場(chǎng)屏蔽兩種。具體措施是用接地的屏蔽罩把帶電體與其它物體隔離開來(lái),這樣帶電體的電場(chǎng)將不會(huì)影響周圍其它物體(內(nèi)場(chǎng)屏蔽);有時(shí)也用屏蔽罩八被隔離的物體包圍起來(lái),使其免受外界電場(chǎng)的影響(外場(chǎng)屏蔽)。如GaAs器件包裝多采用金屬盒或金屬膜。
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